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清华大学超高真空超导薄膜制备系统采购项目中标公告

发布时间:2019-06-07 12:16 来源:未知 编辑:admin

  该设备主要用于实验室纳米加工工艺,该工艺对于基于纳米线的Majorana费米子制备与调控是不可缺少的。在高真空环境中,通过磁控溅射技术,蒸镀超导金属,如Nb,NbTi合金等。同时需要利用该设备进行样品的原位刻蚀和清洗处理。

  2.1工作温度和湿度:工作温度为室温(15-30摄氏度,),工作湿度要求相对湿度30%以下。

  2.3场地要求:需不大于10平米占地空间;高度不能超过2.7m,需能通过宽度1.2m的门;如需要循环冷却水,冷却水用电不高于3kW。

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